Оже-спектроскопия (AES, Оже) является высокой энергии источника возбуждения электронного пучка методов анализа поверхности. AES анализ область возбужденных атомов испускают элементы с характеристиками оже-электронов. AES электронный пучок сканировать большие или малые поверхности. Он также может быть непосредственно направлены на небольшом топографии поверхности полупроводниковой промышленности (часто требуют этого). Сфокусированного пятна электронного пучка в 10 нм в диаметре или меньше рельеф поверхности делает AES в небольшой элементного анализа очень полезный инструмент. Кроме того, можно регулировать площадь поверхности электронного пучка таким образом, чтобы контролировать анализа размера области ворот щит. При использовании в сочетании с ионным распылением источника, когда, AES квалифицированным большой и малой площадью профилей глубины. При использовании в сочетании с сфокусированного ионного пучка (FIB), который является полезным для поперечного сечения анализа. Применение: Поверхность анализ дефектов анализ частиц глубина профиля анализ небольшой площади анализа компонент фильм управления процессом AES преимуществ: ????? небольшой анализ области (30 нм) хорошая чувствительность поверхности разрешением хорошая глубина ??